Ռադիոհաճախականային պլազմայի հսկման և ղեկավարման եղանակները արդի տեխնոլոգիական գործընթացներում / Methods of monitoring and control of rf plasma in modern technologeal processes

Simple item page
dc.contributor.authorԱղաջանյան, Անդրանիկ Արմենի / Aghajanyan Andranik
dc.date.accessioned2022-12-14T11:03:28Z
dc.date.available2022-12-14T11:03:28Z
dc.date.issued2015
dc.descriptionԱ.04.03 «Ռադիոֆիզիկա» մասնագիտությամբ տեխնիկական գիտությունների թեկնածուի գիտական աստիճանի հայցման ատենախոսություն ; Երևան-2015 ; Ատենախոսության թեման հաստատվել է ՀՀ ԳԱԱ Ռադիոֆիզիկայի և էլեկտրոնիկայի ինստիտուտում ; Գիտական ղեկավար` Տ. Վ. Զաքարյան ; Պաշտոնական ընդդիմախոսներ` Ա. Գ. Ղուլյան, Մ. Վ. Մարկոսյան ; Առաջատար կազմակերպություն` Հայաստանի ազգային պոլիտեխնիկական համալսարան հիմնադրամ ; Ատենախոսություն՝ 104 էջ, սեղմագիր՝ 22 էջ։
dc.description.abstractԱշխատանքը վերաբերում է վերջին ժամանակներում բուռն զարգացում ստացած և արդի տեխնոլոգիական մի շարք գործընթացների հիմնական բաղկացուցիչ մասը կազմող ցածր ջերմաստիճանային «սառը» պլազմայի կիրառություններին / Низкотемпературная плазменная обработка материалов находит широкое применение в различных современных технологических процессах все более вытесняет традиционные химические методы обработки / The low-temperature plasma-assisted processing of materials has huge number of applications in modern technological processes such manufacturing of semiconductor devices, LCD panels, MEMS etc. and replaces the traditional chemical technique more and more
dc.identifier.urihttp://dspace.nla.am/handle/123456789/705
dc.language.isoarm
dc.pagesԱտենախոսություն՝ 104 էջ, սեղմագիր՝ 22 էջ
dc.publication.placeԵրևան
dc.publisherՀՀ ԿԳՆ Երևանի պետական համալսարան
dc.subjectՖիզիկամաթեմատիկական գիտություններ / Mathematics & Physics
dc.titleՌադիոհաճախականային պլազմայի հսկման և ղեկավարման եղանակները արդի տեխնոլոգիական գործընթացներում / Methods of monitoring and control of rf plasma in modern technologeal processes
dc.typeThesis
dc.typeAbstract
eperson.lastnameLS
Files
Original bundle
Now showing 1 - 2 of 2
No Thumbnail Available
Name:
dis1004_aghajanyan.pdf
Size:
4.77 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
No Thumbnail Available
Name:
abs1004_aghajanyan_ocr.pdf
Size:
2.02 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Download
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
1.71 KB
Format:
Item-specific license agreed to upon submission
Description:
Download
Collections
Ատենախոսություններ և սեղմագրեր / Theses & Abstracts