Разработка и исследование лазерных методов контроля и регулирования полупроводниковых структур / Կիսահաղորդչային կառուցվածքների հսկման ու կարգավորման լազերային մեթոդների մշակումը և հետազոտումը
Loading...
Date
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Հայաստանի պետական ճարտարագիտական համալսարան
Abstract
В производстве интегральных схем (ИС) выход годной продукции во многом определяется кристаллографическим совершенством материала / Աշխատանքը նվիրված է լազերային ճառագայթման միջոցով կիսահաղորդիչների էլեկտրաֆիզիկական պարամետրերի և էլեկտրական ակտիվություն ցուցաբերող արատների ուսումնասիրմանը և հետազոտման մեթոդների մշակմանը, ինչպես նաև հզոր լազերային իմպուլսների միջոցով նրանց կարգավորման ուղիների որոնմանը
Description
Ե.27.01 «Պինդ մարմնային էլեկտրոնիկա և միկրոէլեկտրոնիկա» մասնագիտությամբ տեխնիկական գիտությունների թեկնածուի գիտական աստիճանի հայցման ատենախոսություն ; Երևան-1997 ; Աշխատանքը կատարվել է «Տրանզիստոր» ԳԱՁ-ում ; Գիտական ղեկավար՝ Ա. Հ. Վարդանյան ; Պաշտոնական ընդիմախոսներ՝ Ռ. Ռ. Վարդանյան, Վ. Ն. Համազասպյան ; Առաջատար կազմակերպություն՝ «Լազերային տեխնիկա» գիտարտադրական միավորում ; Սեղմագիր՝ 22 էջ։