Ռադիոհաճախային պլազմայի իմպեդանսի համաձայնեցման պրոցեսի կայունության ուսումնասիրումը / Investigation of the stability of impedance matching process for rf originated plasma
Ռադիոհաճախային պլազմայի իմպեդանսի համաձայնեցման պրոցեսի կայունության ուսումնասիրումը / Investigation of the stability of impedance matching process for rf originated plasma
| dc.contributor.author | Սարգսյան, Սարգիս Թադևոսի / Sargsyan Sargis | |
| dc.date.accessioned | 2023-12-11T11:38:16Z | |
| dc.date.available | 2023-12-11T11:38:16Z | |
| dc.date.issued | 2019 | |
| dc.description | Ա.04.03 «Ռադիոֆիզիկա» մասնագիտությամբ ֆիզիկամաթեմատիկական գիտությունների թեկնածուի գիտական աստիճանի հայցման ատենախոսություն ; Երևան-2019 ; Ատենախոսության թեման հաստատվել է՝ ՀՀ ԳԱԱ Ռադիոֆիզիկայի և էլեկտրոնիկայի ինստիտուտում ; Գիտական ղեկավար՝ S. Վ. Զաքարյան ; Պաշտոնական ընդդիմախոսներ՝ Կ. Մ. Ղամբարյան, Ա. Հ. Մակարյան ; Առաջատար կազմակերպություն՝ Երևանի կապի միջոցների գիտահետազոտական ինստիտուտ ; Սեղմագիր՝ 22 էջ։ | |
| dc.description.abstract | Կիսահաղորդչային սարքերի կատարելագործումը հանդիսանում է գիտատեխնիկական առաջնթացի խթանիչ ուժը / Усовершенствование полупроводниковых приборов является движущей силой научно-технического прогресса / The enhancement of semiconductor devices is the leading force of scientific and technological progress | |
| dc.identifier.uri | http://dspace.nla.am/handle/123456789/7991 | |
| dc.language.iso | arm | |
| dc.pages | Սեղմագիր՝ 22 էջ | |
| dc.publication.place | Երևան | |
| dc.publisher | ՀՀ ԿԳՆ Երևանի պետական համալասարան | |
| dc.subject | Ֆիզիկամաթեմատիկական գիտություններ / Mathematics & Physics | |
| dc.title | Ռադիոհաճախային պլազմայի իմպեդանսի համաձայնեցման պրոցեսի կայունության ուսումնասիրումը / Investigation of the stability of impedance matching process for rf originated plasma | |
| dc.type | Abstract | |
| eperson.lastname | LS |