Գերմեծ ինտեգրալ սխեմաների պարամետրերի բարձր ճշտությամբ չափման ավտոմատացված համակարգի մշակումը և հետազոտումը / Development and investigation of an automated system for mesaurenment of parameters with high accuracy for circuits with very large scale integration

Abstract

Գերմեծ ինտեգրալ սխեմաների (ԳՄԻՄ) նախագծման և շահագործման կարևորագույն հիմնահարցերից է դրանցում կատարվող ճշգրիտ չափումների իրականացումը՝ սխեմայի աշխատունակությունը գնահատելու և աշխատանքի ընթացքում կարգավորումներ կատարելու համար / Одной из важнейших задач проектирования и эксплуатации сверхбольших интегральных схем (СБИС) является проведение в них точных измерений / One of the most important points of design and exploitation of integrated circuits (IC) with very large scale integration (VLSI) is the implementation of accurate measurements