Ծակոտկեն սիլիցիումի և մետաղօքսիդային կիսահաղորդչային բարակթաղանթային նանոկառուցվածքների հիման վրա գազային սենսորների ստացումը և հետազոտումը

Abstract

Ներկայումս պայթյունավտանգ գազերի՝ մասնավորապես ջրածնի նկատմամբ զգայունություն ցուցաբերող սենսորների նկատմամաբ պահանջարկը էլ ավելի է մեծացել, քանի որ նրանք օգտագործվում են ինչպես տեխնիկայի տարբեր բնագավառներում և արտադրության մեջ, այնպես էլ՝ ահաբեկչության դեմ պայքարի համար / В диссертационной работе разработан и изготовлен измерительный комплекс, который позволяет измерять электрофизические параметры сенсоров при разных температурах газочувствительного элемента и концентрациях газов