Исследование электрического разряда с осциллирующими электронами при низких давлениях качестве источника заряженных частиц / Օսցիլյացվող էլեկտրոններով էլեկտրական պարպման ուսումնասիրությունը ցածր ճնշումների պայմաններում որպես լիցքակիր մասնիկների աղբյուրի

Abstract

Высоковольтный электрический разряд осциллирующими электронами ( ОЭ ) во внешнем стационарном магнитном поле ( разряд Пеннинга ) нашел широкое практическое применение в различных областях науки и технологических процессов: магниторазрядные манометры, магниторазрядные высоковакуумные насосы, ионные источники, ионные двигатели, электронные источники, устройства для нанесения одно- и многокомпонентных тонких пленок металлов, полупроводников и диэлектриков и т.д. / Ատենախոսությունը նվիրված է ցածր ճնշման պայմաններում համասեռ մագնիսական և անհամասեռ էլեկտրական դաշտերում օսցիլյացվող էլեկտրոններով էլեկտրական պարպման ուսումնասիրությանը և նրա կիրառմանը